我們校準的真空計,電離規(guī)管的結構為一個圓筒型三極管,它有三個電極:陰極F發(fā)射電子;柵極A加速電子,收集極C收集離子。一般陰極加零電位,柵極加正電位,收集極加負電位。它的優(yōu)點主要是能夠測量氣體與蒸氣的全壓強; 反應迅速,可連續(xù)讀數(shù)和遠距離控制; 量程寬,線性好,測量精度較高。缺點主要是在壓強高于10- 1 Pa時,容易氧化燈絲,一旦系統(tǒng)突然暴露大氣會燒壞規(guī)管;玻殼、電極的放氣導致測量的誤差。
 

　　校準真空計時,應注意以下六點:
 

　　(1)一般情況下,規(guī)管和系統(tǒng)連接時,先將未開封的規(guī)管和測量電路連接到一起試一下,檢查規(guī)管是否正常,然后再接到系統(tǒng)。
 

　　(2)在校準的過程中,如果出現(xiàn)故障,在原因不明的情況下,拿一支未開封的規(guī)管試一下,判斷是規(guī)管的問題,還是電路的問題。如果換上未開封的規(guī)管一切正常,說明原規(guī)管有問題;如果換上未開封的規(guī)管仍然不正常,說明電路有問題,這樣就縮小了故障的范圍。
 

　　(3)規(guī)管安裝時應豎直安裝,否則在加熱除氣,烘烤時柵極和陰極產生變形,相對位置變化,將會嚴重影響測量精度。
 

　　(4)在開燈絲前,判斷被測真空系統(tǒng)中的真空度確信小于10-1Pa時,才能開燈絲,否則真空度太低,導致規(guī)管陰極氧化而燒毀。
 

　　(5)在讀數(shù)之前,應先調整好發(fā)射電流、零點及滿度。具體步驟是: 發(fā)射電流—零點—滿度—發(fā)射電流。
 

　　(6)真空計只需要加電預熱10分鐘就可以校準了。